logo
logologo
Главная-Оборудование-Типовые применения

Использование квадрупольных
масс-спектрометров Extorr

Типовые применения

Квадрупольные масс-спектрометры Extorr широко применяются в таких сферах, как:

- Испытания на герметичность
- Контроль вакуумных печей
- Проверка целостности электронных микроскопов
- Определение параметров плазмы
- Установки для нанесения покрытий
- Развитие вакуумных технологий
- Изготовление материалов
- Анализ материалов
- Поиск течей в вакуумных линиях
- Контроль процесса осаждения тонких пленок

Примечания по применениям

1.Что представляют собой типичные масс-спектры для вакуумных систем из нержавеющей стали?
2.Динамический диапазон Extorr
3.Системы понижения давления
4.Что на самом деле показывают эти пики RGA?
5.Истинная масса 1
6.Использование Extorr во время откачки
7.Система отбора проб газа при атмосферном давлении
8.Встроенный ионизационный датчик
9.В чем состоит отличие между гелиевым течеискателем и RGA?
10.Использование зонда Extorr во время прогрева при 100°С
11.Использование масс-спектрометров квадрупольных (систем Extorr XT) с вакуумными печами
12.Преимущества электронного умножителя
13.Использование XML-данных режима Sweep в Excel
14.Использование XML-данных режима Trend в Excel
15.Введение в потоковую передачу XML-данных
16.Использование потоковой передачи XML-данных

Использование масс-спектрометров Extorr в процессах термообработки

В настоящее время вакуумные печи, водородные печи и печи для термообработки в модифицированных средах все чаще и чаще применяют для всех типов операций термообработки. Использование анализаторов остаточных газов, таких, как Extorr, позволяет оператору получить масс-спектрограмму, объясняющую химические процессы, протекающие в системе.

Некоторые вакуумные печи – это достаточно сложное оборудование, позволяющее программно задавать параметры нагрева и охлаждения, контролировать заполнение различными газами, и даже производить обработку под высоким давлением. Однако, зачастую эффективность использования оборудования зависит от того, насколько полной информацией о процессах, происходящих в печи, обладают технологи и оператор, работающие с печью.

Хотя системы Extorr могут измерить весь диапазон давлений, вплоть до атмосферного, надежные измерения парциального давления могут быть обеспечены только при давлении ниже 10-5Торр. Если для процесса термообработки требуется более высокое давление, то для работы масс-спектрометра необходимо установить отдельную откачную систему с небольшим турбомолекулярным насосом. Диафрагма с отверстием диаметром 1 мм идеально подойдет для разделения рабочей области печи и камеры масс-спектрометра. Таким образом, при давлении в печи 10-3 Торр, масс-спектрометр Extorr будет находиться в комфортном для него диапазоне – 10-6 Торр. При атмосферном давлении в печи, давление в камере масс-спектрометра повысится до 2 Торр. Это слишком много для квадрупольного или ионного датчика, но нормально для датчика типа Пирани. Возможность измерения и записи в реальном времени всего диапазона парциального давления вашего термического процесса позволит Вам оценить высокую ценность системы Extorr для контроля качества.

Во многих случаях критически важно обеспечить процесс, при котором минимально допустимое количество кислорода вступает в контакт с обрабатываемыми деталями. Независимо от уровня вакуума, небольшие течи в печи позволяют воздуху и парам воды проникать в печь и окислять детали во время термообработки. Масс-спектрометры Extorr позволяют контролировать процесс, обеспечивая требуемое отсутствие натеканий и высокую воспроизводимость процессов.

 

Карта сайта   Контакты    Скачать

Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения компании MSH Techno Ltd. не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.

  Яндекс.Метрика