logo
logologo
Главная-Оборудование-Подробнее о датчиках Байярда-Альперта и Пирани

Подробнее о датчиках Байярда-Альперта и Пирани

zond

Масс-спектрометр квадрупольный Extorr имеет в своем составе датчик Пирани, встроенный в основание вакуумного зонда. Его управление осуществляется при помощи отдельной схемы усиления таким образом, чтобы всегда присутствовал выходной сигнал для программно-аппаратных средств и программного обеспечения. Его геометрическая форма обеспечивает считывание достоверных показаний вплоть до атмосферных давлений. Иногда данные датчики Пирани с расширенным диапазоном называют конвекционными датчиками. Есть также отдельный ионизационный датчик Байарда-Альперта, встроенный в ионизатор со своим собственным усилителем тока. Зачем мы все так усложнили? В конце концов, большинство RGA других типов обеспечат показания полного давления в каком-то виде.

Преимущества датчика Пирани в масс-спектрометре Extorr

Имея в своем распоряжении датчик Пирани/конвекционный датчик, Вы можете с помощью квадрупольного масс-спектрометра контролировать работу насоса ниже атмосферного давления, и, что еще более важно, Вы можете выявлять сильные утечки при давлениях выше тех значений, при которых работают типичные RGA. Датчик Пирани представляет собой очень тонкую проволоку, которая работает при температуре на 100 градусах Цельсия выше температуры окружающей среды зонда. Тепловые потери контролируются путем измерения сопротивления в чувствительной мостовой схеме, которое пропорционально давлению газа. Для обнаружения утечки можно использовать эффект охлаждения проволоки различными газами. Отслеживая выходной сигнал, на подозреваемое место утечки можно распылять, например, гелий, и наблюдать изменение выходного сигнала датчика. Капля ацетона на место утечки часто приводит к сильному изменению выходного сигнала, и, обычно, также используется.

Другое преимущество датчика Пирани/конвекционного датчика состоит в том, что катод может быть защищен от непреднамеренной работы при высоком давлении. Существуют и другие схемы защиты катода, большинство из них будут работать при внезапном вентилировании системы. Однако погрешность наблюдается при работе только выше 10-3 торр, когда все еще существует электронная эмиссия с катода, но выходной сигнал ионизационного датчика или RGA дает низкие показания, неотличимые от показаний при низких давлениях. Типичная ситуация - когда насос выходит из строя, но система не провентилирована, и давление поддерживается только форвакуумным насосом. Катод остается включенным и, в конечном счете, окисляется и перегорает. Наша бескомпромиссная философия приводит нас к лучшему решению.

Преимущества ионизационного датчика в масс-спектрометре Extorr

В предыдущих конструкциях RGA показания полного давления получались путем наблюдения за долей ионов, создаваемых в ионизаторе, который был разработан с целью создания ионов для квадрупольного анализатора. Все известные нам схемы, так или иначе, представляли собой компромиссные решения. У них были высокие пределы рентгеновского излучения (они были бесполезны при давлениях ниже приблизительно 10-7 торр), слабая разрешающая способность по массе, особенно для приборов, которые используют тот же самый цилиндр Фарадея. Читайте отказы от ответственности за последствия использования в руководствах большинства других производителей-конкурентов о показаниях полного давления, а также чувствительность, которая изменялась в значительных пределах, в зависимости от параметров настройки приборов и износа ионизатора.

В квадрупольном масс-спектометре Extorr ионизационные датчики Байарда-Альперта имеют достаточно простую конструкцию и работают вполне хорошо. Они используются уже в течение многих десятилетий и являются наиболее широко распространенными приборами, которые применяются на сегодняшний день. Основное различие между датчиком Байарда-Альперта и ионизатором, предназначенным для создания низко-энергетических ионов для квадрупольного масс-фильтра, состоит в уровнях напряжения на элементах и сечении ионного детектора. Таким образом, мы по существу помещаем датчик Байарда-Альперта вблизи ионизатора, который был оптимизирован для работы квадруполя. Это позволило электронам катода выполнять двойную функцию, не ухудшая работу обоих приборов. Как и в случае с другими RGA, чувствительность ионизатора несколько уменьшается в процессе износа, но показания полного давления будут оставаться настолько же точными, как и для типичного датчика Байарда-Альперта (даже при включенном электронном умножителе). И снова, никакого ухудшения рабочих характеристик. Квадрупольный масс-спектрометр Extorr – все включено, все измерено для надежной работы.

А зачем мне вообще необходимы показания полного давления?

Типичное использование квадрупольного масс-спектрометра (анализатора остаточных газов) состоит в том, чтобы вести регистрацию фоновых газов в системе так, чтобы в случае ошибок в процессе, Вы смогли проверить предыдущие показания. При износе ионизатора его чувствительность уменьшается до тех пор, пока не потребуется его замена (в очень чистых системах сверхвысокого вакуума этот эффект может быть не очевиден). Если Вы заметите, например, что парциальные давления сегодня меньше, чем они были в прошлом месяце, возможно, будет полезно знать, является ли этот эффект результатом износа или изменений параметров процесса. Регистрация точного значения полного давления часто может прояснить эту неопределённость.

 

Карта сайта   Контакты    Скачать

Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения компании MSH Techno Ltd. не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.

  Яндекс.Метрика